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愛德萬測試開發(fā)多視角掃描式電子顯微鏡

愛德萬測公司表示正在開發(fā)一款多視角量測掃描式電子顯微鏡，該顯微鏡主要是針對3D IC晶圓量測領域而開發(fā)的。

針對3D IC晶圓量測需求，在電子束掃描技術（專利）基礎上，開發(fā)多視角量測掃描式電子顯微鏡；該電子顯微鏡可在各種晶圓上量測接腳間距圖樣，支援材料除了矽晶圓之外，還包括AlTiC、石英、碳化矽晶圓等，可支援尺寸從150mm到300mm不等。

同時，多視角量測掃描式電子顯微鏡具有多重偵測器配置設定功能，可在1Xnm節(jié)點穩(wěn)定進行精確性量測；專利偵測演算法可量測3D FinFET架構。